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반도체 분야 소재
(주)마이크로켐에서는 이온 주입 공정에 사용 가능한 인듐화합물과 전구체 생산에 필요한 중간체 화합물을 생산하고 있습니다.
Compound
CAS number
Form
Purity
Image
Gallium(III) iodide, GaI
3
13450-91-4
Pellets (0.1~3.0mg)
99.999%
Hafnium(IV) iodide, HfI
4
13777-23-6
Powder (-20 mesh)
99.99%
Indium(I) iodide, InI
13966-94-4
Pellets (0.05~5.0mg)
99.999%
Zirconium(IV) iodide, ZrI
4
13986-26-0
Powder (-30 mesh)
99.99%